WORKSHOP PAPER
Prototype TDI sensors in embedded CCD in CMOS technology
Alper Ercan1,2, Luc Haspeslagh1, Koen De Munck1, Kyriaki Minoglou1, Anne Lauwers1, Piet De Moor1
1Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium
2ESAT KU Leuven, 3001 Kasteelpark Arenberg 10, Heverlee, Belgium

Abstract

This paper describes prototype time-delay-integration (TDI) sensors designed at Imec under CNES (French Space Agency) contract. The sensors combine a light-sensitive embedded CCD TDI section with a CMOS readout multiplexer on the same die and, fabricated using a modified 130nm CMOS-CIS technology.
Publisher: IISS (Int. Image Sensors Society)
Year: 2013
Workshop: IISW
URL: https://doi.org/10.60928/46e5-6dwa
Download PDF

Keywords

TDI sensors, CCD in CMOS technology, Prototype sensors,

References

1) D. F. Barbe, "Solid State Imaging", 1975. https://doi.org/10.1007/978-94-010-1534-9_31
2) B. Pain etal., "NASA Tech Briefs", Vol. 25, No.4, 2001. https://doi.org/10.1016/0010-4361(74)90357-7
3) G. Lepage etal, "IEEE ED-56, No.11, 2009", p. 2524
4) H. Michaelis et al., "Proc. IEEE CCD AIS-2005", p.31
5) X. Liu etal., "SPIE-5881, 2005", p.79
6) J. Crooks etal., "SPIE-8659-03, 2013"
7) J. Janesick etal., "SPIE-8659-02, 2013"
8) F. Mayer, "ICSO 2012", pres. 006
9) J. Borg etal., "IEEE ED-58, No.8, 2011", p.2660
10) K. Fife etal., "IISW 2009"
11) H. S. Wong etal., "IBM J. Res. Dev. Vol.36, 1992", p.83
12) L. Kozlowski etal., "SPIE-1684, 1992", p. 222
13) C. Kim etal., "IEEE Custom Int. Circ. Conf. 2006", p.651
14) M. Zucker etal., "SPIE-4820, 2003", p. 580
15) A. Hairston etal., "SPIE-6206, 2006", p. 62062Z
16) Z. Zhang etal., "NIMA Vol.607, 2009", p. 538
17) L. Koerner etal., "IEEE NS-56, No.5, 2009", p. 2835
18) D. Ong, "IEEE ED-28, No.1, 1981", p.6
19) J. R. Tower etal., "IEEE SC-17, No.6. 1982", p. 1062
20) M. Sato etal., "ISSCC-84, 1984", p. 120
21) R. M. Guidash etal., "IEEE Int. ASIC Conf. 1994", p.352
22) V. Suntharalingam etal., "IEEE IEDM 2000", p. 30.3.1
23) Y. Okada etal., "IISW-2013"
24) M. Furumiya etal., "IEEE SC-34, No. 12, 1999", p. 1835
25) N. Tanaka etal., "IEEE ED-44, No. 11, 1997", p. 1869
26) N. Karasawa etal., "IISW 2005, R-32"
27) J. G. C. Bakker, "IEEE ED-38, No. 5, 1991", p. 1152
28) G. Yang, "Ph.D. diss. NJIT, 1996"
29) J. G. Nash, "US 4,169,231", 1978
30) S. R. Kamasz, etal., "US 7,105,876", 2002
31) H. L. Peek etal., "IEEE IEDM 1996", p. 35.3.1
32) S. L. Kosman etal., "IEEE IEDM 1990", p. 11.6.1
33) E. G. Stevens etal., "Proc. IEEE CCD AIS-2005, R41"
34) J. R. Tower etal., "IEEE ED-50, No.1 2003", p. 218
35) M. G. Farrier, "IEEE SC-15, No. 4, 1980", p. 753
36) S. R. Kamasz etal., "Proc. IEEE CCD AIS-2001"
37) A. Materne etal., "ICSO 2006"
38) A. Theuwissen etal., "IEEE IEDM 1991, p. 7.1.1"
39) , "Raphael D-2010.03, Synopsis, 2010"
40) K. Minoglou etal., "IEEE ED-59, No 10, 2012", p. 2723
41) G. Meynants etal., "Proc. IEEE CCD AIS-2005"
42) J. Barth, "IEEE NSREC, 1997, Section-I"
43) A. Ercan, "Ph.D. diss. Cornell Un., 2007"
44) F. T. Brady etal., "IEEE NS-46, No. 6, 1999", p. 1836
45) I. M. Peters etal., "Proc. IEEE CCD AIS-2005, R-15"
46) P. Jerram etal., "ISROS/OPTORAD May. 2009"